一、空氣過濾系統：無塵室的呼吸中樞
設備概述：空氣過濾系統是無塵室的核心設備之一，它負責將外界空氣經過多級過濾后送入室內，同時排出室內產生的污染空氣，維持室內空氣的持續潔凈。該系統通常由初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器（HEPA）甚至超高效過濾器（ULPA）組成，逐級攔截空氣中的塵埃粒子。
作用分析：
初效過濾器：作為第一道防線，主要攔截大顆粒物如灰塵、毛發等，保護后續過濾器的使用壽命。
中效過濾器：進一步去除較小顆粒物，減輕高效過濾器的負擔。
高效過濾器（HEPA）：能過濾掉空氣中至少99.97%的直徑大于或等于0.3微米的微粒，是確保空氣潔凈度的關鍵。
超高效過濾器（ULPA）：對于需要更高潔凈度等級（如ISO 1級）的場所，ULPA過濾器能過濾掉直徑大于或等于0.12微米的微粒，提供更高級別的保護。
二、氣流控制系統：精準調控，避免污染
設備概述：氣流控制系統通過合理設計送風、回風及排風路徑，確保無塵室內氣流均勻分布，避免渦流、死角等可能導致污染物積聚的區域。該系統包括送風裝置（如FFU風機過濾單元）、回風口、排風管道及相應的控制閥門。
作用分析：
送風裝置：如FFU風機過濾單元，直接安裝在潔凈室頂部，為室內提供垂直向下的層流或紊流氣流，有效防止塵埃粒子擴散。
回風口與排風管道：合理布置的回風口能迅速收集并排出室內污染空氣，而排風管道則負責將污染空氣安全排出室外，避免交叉污染。
控制閥門：通過調節送風、回風及排風的風量，實現對室內氣流速度和方向的精準控制，確保潔凈度要求得到滿足。
三、溫濕度控制系統：穩定環境，保障生產
設備概述：溫濕度控制系統通過加熱、冷卻、加濕、除濕等手段，將無塵室內的溫度和濕度控制在設定范圍內，以滿足特定生產工藝的需求。該系統包括空調機組、加濕器、除濕機及相應的溫濕度傳感器和控制器。
作用分析：
空調機組：提供制冷或制熱功能，維持室內溫度穩定。
加濕器與除濕機：根據室內濕度情況自動調節加濕或除濕量，確保濕度處于適宜范圍，防止靜電產生、材料變形等問題。
溫濕度傳感器與控制器：實時監測室內溫濕度數據，并與設定值進行比較，自動調節空調機組、加濕器、除濕機等設備的運行狀態，實現精準控制。
四、人員與物料凈化設備：源頭控制，減少帶入污染
設備概述：人員與物料在進入無塵室前需經過嚴格的凈化處理，以減少外部污染物的帶入。這包括風淋室、氣閘室、潔凈工作臺、潔凈服及潔凈鞋等。
作用分析：
風淋室：利用高速氣流吹走人員身上的塵埃粒子，是人員進入無塵室前的必要凈化步驟。
氣閘室：作為緩沖區域，通過壓差控制減少室內外空氣交換，進一步降低污染風險。
潔凈工作臺：為局部操作提供更高潔凈度的環境，常用于精密組裝、檢測等工序。
潔凈服與潔凈鞋：防止人員皮膚碎屑、毛發等污染物進入無塵室，同時減少靜電產生。
五、監測與報警系統：實時監控，確保安全高效
設備概述：監測與報警系統是無塵室運行管理的重要輔助工具，它通過對室內潔凈度、溫濕度、壓差等關鍵參數的實時監測，及時發現并處理異常情況，確保無塵室始終處于最佳運行狀態。
作用分析：
潔凈度監測儀：定期或連續監測室內空氣中的塵埃粒子濃度，評估潔凈度水平。
溫濕度監測儀：實時顯示室內溫濕度數據，確保環境參數符合生產要求。
壓差計：監測無塵室與相鄰區域之間的壓差，防止外界空氣未經過濾直接進入室內。
報警系統：當監測到任何參數超出設定范圍時，立即發出聲光報警，提醒操作人員采取措施進行處理，防止污染擴散。
